激光器的水、气、电等连接完毕后，激光器就可按下列程序予以启动：
a. 在不通过激光器控制回路对冷水机控制时，先启动冷水机。
b. 打开激光器气源钢瓶阀门。
c. 打开压缩空气阀门。
d. 将电源总开关S01置于【ON】，此时显示屏工作，显示激光器各种状态。
e. 按下主电压开S2按钮，此时
＃主电压信号灯（H1）亮，显示屏上显示低压开。
＃机柜顶部兰色信号灯亮。
＃激光器内的循环冷却风机开始运转。
＃真空泵开始工作。
＃在激光器抽真空过程中，显示屏显示实时压力值， 当工作在正常转程序—自动起动时，激光器真空可抽至5~7mbar。
当气压到达启动气压时：
＃罗茨泵合上。
＃激光工作气体充入谐振腔，高压指示灯闪烁。
＃激光器气压控制部分开始工作。
＃一旦达到设定的运转气压，显示屏显示机器正常。
f. 检查联锁回路
通常，所有故障指示灯都不显示，否则，应清除故障，按”复位”按钮清除存储的故障信号。
g. 调节工作气压。
h. 选择运转方式。
i. 按惯例检查以确保所有激光器安全预防措施都已作好， 最重要的是放置好挡光板。
j. 将高压钥匙开关S8置于开【ON】档。
k. 按下高压开按钮S4，此时：
＃高压控制灯亮。
＃激光器顶部橘黄色警告灯闪亮。
＃延时3秒钟后吸合，高压单元产生高压。
此时激光器开始正常运转，是否有激光输出取决于所选择的运转方式，当激光器运转时，可通过显示屏上电流显示的放电电流来检查放电管工作是否正常。
