激光束通过聚焦后的光斑大小。激光束聚集后的光斑越小，切割精度越高。
工件厚度越大，精度越低，切缝越大。由于激光光束为锥形，切缝也是锥形，同样是不锈钢，0.3mm不锈钢比2mm不锈钢的切缝就小的多。
工件材质对激光切割精度有一定影响。同样情况下，不锈钢要比铝的切割精度高，切面也更光滑。
